晶圆生产系统

集合了用于晶圆的生产的各种设备。包含线切割后的晶棒的剥离清洗、晶圆的倒角等工艺设备。

  • 剥離洗浄機:C-RW-200/300
    剥离清洗机: C-RW-200/300
    全自动、高效率的对切片机/ 线切割机上切断的晶圆进行剥离清洗。
  • ウェーハエッジグラインディングマシン : W-GM-6200
    硅片倒角机: W-GM-6200
    最先进的450mm用硅片倒角机。
  • ウェーハエッジグラインディングマシン:W-GM-5200
    硅片倒角机: W-GM-5200
    高品质300mm用硅片倒角机。
  • ウェーハエッジグラインディングマシン:W-GM-4200
    硅片倒角机: W-GM-4200
    对应各种形状(矩形,异性)、各种材料的倒角机。