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光学测量机

  • 非接触三次元表面粗さ・形状測定機<br/> Opt-scope（オプト スコープ/白色干渉顕微鏡）
    非接触三围表面粗糙度・形状测量机
    Opt-scope（白光干涉显微镜）
    非接触。高分辨率。范围广。
    Opt-scope R:最大300mm移动范围的自动测量台，可进行晶片晶圆的测量。
  • O-SELECT
    非接触三维表面粗糙度和形状测量仪 Opt-scope CLW（白色干涉显微镜）
    使用白色干涉原理，可以分析以往显微镜难以测定的深孔底和齿轮齿面、圆柱内表面粗糙度和形状的便携式非接触3D表面粗糙度和形状测量机。Z方向测量范围、工作距离扩大40mm，对应各种测量工件。