非接触三围表面粗糙度・形状测量机
Opt-scope(白光干涉显微镜)
Opt-scope(白光干涉显微镜)
非接触。高分辨率。范围广。
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Opt-scope R:最大300mm移动范围的自动测量台,可进行晶片晶圆的测量。
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